可編程晶圓加熱盤
大型圓形銑削平坦鋁表面，整個加熱表面的溫度均勻性優于 1%。專為處理 12 英寸（304.8 毫米）直徑或更小的硅晶圓以及其他需要溫度精度和表面均勻性的樣品而設計。
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特征
- 加熱器表面直徑 13.875 英寸（354.24 毫米）
- 銑削平板鋁非常適合 12 英寸（304.8 毫米）或更小的硅晶圓
- 可通過 RS232 I/O 端口或通過遙控器從 PC 或工業控制器進行遠程控制 提供對所有參數或數據的完全訪問
- 使用提供的遙控器可在臺式上進行控制和編程
- 溫度范圍從室溫到350°C
- 可讀并可設置為 1 °C
- 設定精度 1%
- 從板表面中部到側面 0.75 英寸范圍內的溫度均勻性優于 1%
- 溫度穩定性±1℃
- 校準至 0.1 °C 以保證精度
- 遠程控制器可存儲 5 個單獨的程序，每個程序最多 10 個步驟，用于各種無需干預、可重復的樣品運行
- 程序可自動重復 1 至 99 次，或根據需要無限重復
- 以 1 °C/小時的增量將溫度從 1 °C 升高或降低到 450 °C
- 1500W加熱器功率
- 機箱底部獨特的溫度指示燈照明環。顏色從藍色（無目標溫度）變為黃色（加熱到 50 °C 以下時）再到紅色（加熱到 50 °C 以上時）。指示燈將閃爍直至溫度穩定在 ± 0.2 °C 以內
- 內置倒計時器，帶有聲音警報和可設置的自動關閉功能
- 12 個月保修
- 正在等待 UL、CSA 和 CE 批準
應用領域
- 清洗硅片
- 干燥硅片
- 蝕刻硅片
- 熱測試電路
- 環氧樹脂耐熱測試
- 焊接表面貼裝 PCB
- PCB 的生命周期測試
- 測試液晶顯示器
完整的產品規格
| 溫度 | |
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| 鉑熱電阻 | 零位 100 Ω 安裝在加熱器頂部 |
| 范圍 | 板表面10°C至350°C |
| 可讀性 | 1℃ |
| 溫控型 | PID |
| 溫度穩定性 | 1℃ |
| 溫度均勻性 | 從中心到板邊緣 0.75 英寸以內的設置優于 1% |
| 電氣 | |
| 加熱器功率 | 1500W |
| 交流電 | 115 VAC，50/60 Hz（根據要求可提供 230 VAC） |
| 熔斷器 | 是的 |
| 電源線 | 可拆卸，6 英尺（1.8 m），3 線接地。單相 |
| 尺寸：加熱器模塊 | |
| 寬度 | 13.875 英寸（352.4 毫米）圓 |
| 高度 | 5.75 英寸（146 毫米） |
| 重量 | 21.5 磅（9.54 千克） |
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