基材加熱專家
加熱器階段
在圣柏林，我們為處于真空爐行業的前沿而感到自豪。我們的定制多功能系列提供完整的服務，為您提供任何應用所需的工具
水冷和氣冷
圣柏林為所有沉積系統應用提供全系列的熱臺樣品加熱器。圣柏林在我們的加熱器階段提供的一個重要功能是水冷卻，它具有許多優點，包括：
- 與客戶系統集成
- 規定的壓力和流量以確保充分冷卻
- 適用于所有類型的加熱器，包括旋轉加熱器頭
- 與樣本偏置一起使用
- 冷卻電源饋通以允許更高的電流
- 減少腔室和其他設備的熱負荷
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水冷加熱器可以以任何方向安裝，并與我們全系列的機械手和偏置系統一起使用。圣柏林還根據需要為冷水機提供我們的水冷級。
如果需要快速冷卻樣品，圣柏林提供氣體冷卻選項。惰性氣體流過樣品以快速冷卻，從而縮短處理時間。我們與客戶合作，為您的應用提供合適的閥門和配件。
圖表顯示了帶有氣體冷卻的熱邊緣加熱器臺的實際數據。紅線顯示不存在氣流的階段冷卻曲線。藍線顯示氣冷剖面。隨著氣體的流動，加熱器需要 4 分 10 秒才能達到安全排氣溫度（此階段為 300°C）。在沒有氣流的情況下，大約需要 20 分鐘。
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