加熱器類型
加熱板標準選項 1:尺寸
-
基座加熱器有 4 種不同的標準尺寸:100 毫米、200 毫米、300 毫米
-
也可以根據客戶的規格制造不同的尺寸和形狀
-
對于新的加熱器詢價,請注明:
-形狀:矩形、圓形或其他
-尺寸:長 x 長 x 厚、直徑 x 厚或其他機械要求

3 區加熱器,帶 3 個嵌入式熱電偶,直徑 25 英寸,厚度 0.75 英寸

300mm 加熱器

200mm方形加熱器
標準選項 2:加熱元件和傳感元件
-
使用不同類型的加熱和傳感元件來滿足您的應用需求:
-
直徑為 0.250 - 375 英寸的管狀加熱器。
-
直徑范圍從 .062 到 .188 的柔性礦物絕緣電纜
-
可以在內部嵌入熱電偶和 RTD,以監測和控制每個區域的功率輸出。
-
-
對于新的加熱器詢價,請說明
-
瓦數
-
工作電壓
-
加熱元件或區域的數量,傳感元件的數量
-
工作溫度和最高溫度
-
熱均勻性要求
-

3 區加熱器,帶 3 個嵌入式熱電偶,直徑 25 英寸,厚度 0.75 英寸

300mm 加熱器

200mm方形加熱器
標準選項 3:材料選擇
-
我們的加熱器可以由不同的材料制成。最常見的是鋁、不銹鋼和銅。
-
雙金屬加熱器也可根據要求制造
-
對于新的加熱器詢價,請說明
- 材質:鋁、不銹鋼、銅、異種金屬或其他
- 特殊表面處理:陽極氧化、打磨、研磨、特殊涂層

帶有陽極氧化表面的大型鋁加熱器,可改善輻射傳熱

帶銅和不銹鋼的加熱器
標準選項 4:
常見包括:
- 鐵氟龍或聚酰亞胺導線
- 真空密封用托爾管
- 立管
- 波紋管、雙金屬片和托爾管的組合

帶有陽極氧化表面的大型鋁加熱器,可改善輻射傳熱

帶銅和不銹鋼的加熱器

帶銅和不銹鋼的加熱器
特別選項
特殊選項包括但不限于:
- 嵌入式冷卻通道
- 嵌入式氣路
- 使用 PyrAlloy(又名 TPG 或熱解石墨)提高熱均勻性
- 我們協助您進行設計以及按圖制造
- 熱建模可用

帶有陽極氧化表面的大型鋁加熱器,可改善輻射傳熱

帶銅和不銹鋼的加熱器

帶銅和不銹鋼的加熱器
查詢零件號

圣柏林-x 加熱器的擴展功能
- 模擬:
- - 使用 COMSOL Multiphysics® 和 Autodesk Nastran,對每個設計進行仿真以預測熱行為和機械行為
- 測試:
- - 帶有熱圖像、熱電偶晶片和光學傳感的指定真空室可用于驗證每個加熱器的性能
- 校準實驗室:
- - 內部校準實驗室確保所有傳感元件都在公差范圍內
- 質量控制:
- - 設備齊全的電氣測試室,確保滿足所有電氣要求,即 GFI、泄漏、電阻……
- - 利用統計過程控制軟件 (JMP®) 確保每個制造過程都在其控制范圍內
- - 可使用多坐標測量機 (CMM) 確保滿足所有機械尺寸
- 爐和多軸機器:
- - 用于釬焊的真空爐和氫氣爐
- - 可以創建復雜幾何零件的多軸 CNC 機器。
- - 用于高重復焊接的自動 MIG 焊機
- 定制真空饋通:
- - 用于通過真空室傳輸功率的陶瓷金屬接頭
- - 復雜腔室的定制饋通
- - 連接不同金屬的雙金屬材料
可以使用 COMSOL Multiphysics® 預測熱行為和熱應力

加熱器的熱均勻性

加熱器的熱應力
真空試驗箱
測試室可以在模擬過程中驗證加熱器的性能。各種氣體、環境和過程變量用于模擬實際過程。
驗證和測試服務:
- 熱成像
- 光學傳感
- 熱電偶晶片
- 耐壓溫度
- GFI 進行中
- 性能測試


TC 晶圓和熱成像
測試室可以在模擬過程中驗證加熱器的性能。各種氣體、環境和過程變量用于模擬實際過程。
驗證和測試服務:
- 熱成像
- 光學傳感
- 熱電偶晶片
- 耐壓溫度
- GFI 進行中
- 性能測試

300mm 加熱器的熱圖像

使用 17 點 TC 晶圓結果的加熱器的熱均勻性使用 JMP® 軟件進行分析








客服1