圣柏林的專長是響應(yīng)嚴格的規(guī)范，并使用礦物絕緣電纜設(shè)計定制的高性能熱解決方案。

我們的工程專業(yè)知識、原型制作能力和我們對礦物絕緣電纜的了解使我們能夠為客戶提供獨特的解決方案。

我們還能夠開發(fā)包含我們的加熱元件的復(fù)雜機械部件。

我們的優(yōu)勢在于我們通過工廠認證的“精確復(fù)制”在內(nèi)部掌握所有這些流程，專門用于晶圓制造流程的 SEMICON 應(yīng)用：高精度加工、焊接、焊接、測試和鑒定、控制……。

在過去的幾個月里，圣柏林開發(fā)了一種創(chuàng)新、可靠和高效的解決方案來加熱真空室內(nèi)的系統(tǒng)。

該項目的挑戰(zhàn)是在超高真空和高溫腐蝕性環(huán)境中將兩個必須集成到客戶最終系統(tǒng)中的熱系統(tǒng)結(jié)合起來。

我們必須開發(fā)的第一個熱系統(tǒng)是一種盤繞在心軸上的加熱元件

該解決方案很復(fù)雜，因為我們必須滿足關(guān)鍵規(guī)格，例如：
• 加熱器的限制和尺寸公差
• 800°C 的臨界工作溫度
• 實現(xiàn) 10% 的功率分布均勻性 – 多個加熱區(qū)域設(shè)計有不同的功率密度
• 運行保證 > 5 年，在具有腐蝕性環(huán)境的超高真空中

我們設(shè)計了 6 個不同的概念并比較了這些解決方案，以便選擇一個。

圣柏林選擇了 EC 纏繞/釬焊在金屬支架上的設(shè)計，該金屬支架是根據(jù)特定工藝批量生產(chǎn)的。

取得的進展 – 取得的成果 – 所選解決方案的獨創(chuàng)性

這種設(shè)計乍一看像加熱筒，但其設(shè)計具有創(chuàng)新性，因為它通過 圣柏林開發(fā)的工藝將完全纏繞的加熱元件集成在心軸中。

預(yù)期的性能和壽命結(jié)果在原型的鑒定階段得到驗證。

圣柏林的這種包羅萬象的設(shè)計以其性能優(yōu)勢、低成本設(shè)計和長使用壽命性能面向許多領(lǐng)域。

第二個熱系統(tǒng)是一個復(fù)雜的 3D 設(shè)計金屬部件與高溫加熱元件的組件

需要解決的問題

能夠組裝具有苛刻尺寸規(guī)格和高達 800-900°C 工作溫度的復(fù)雜金屬。

該溫度接近臨界溫度，特別是在規(guī)定使用壽命超過 5 年時。

我們必須解決復(fù)雜加工的問題。

還必須考慮加工引起的變形，以及焊接和釬焊過程引起的變形。

設(shè)計和制造方法完全由 圣柏林開發(fā)，以實現(xiàn)適用于大批量制造的可行設(shè)計，并將不符合尺寸或功能規(guī)格的風(fēng)險降至最低。

我們研究了原材料 (304L)，并評估并選擇了最具成本/質(zhì)量/時間效益的材料。
對于我們評估的金屬部件：全質(zhì)量/鍛造/鑄造材料。

這些零件的另一個挑戰(zhàn)是對它們的表面進行處理，以使真空室中的高腐蝕性液體不會粘附在它們上面。

經(jīng)過大量研究和測試，我們確定了一種具有非常好的抗?jié)裥阅懿⒖捎糜诖祟悜?yīng)用的物質(zhì)。

還開展了驗證最合適的沉積工藝（PVD 或 CVD）的工作。
我們最終選擇了可在高達 600°C 下運行的最佳沉積解決方案。