在您的 SU-8 光刻過程中，熱板的目的是加熱您的光刻膠。但是根據(jù)所有設(shè)備的不同，這樣做的方式可能會有所不同，每種設(shè)備都提供不同的選擇，一些是非常需要的，而另一些只是為了讓您的生活更簡單。

我們對許多熱板進行了比較。我們提供了從軟光刻工藝的最佳解決方案中獲益的可能性。請隨時聯(lián)系我們尋求建議。

光刻熱板表面真實溫度顯示

重要的一點是檢查實際溫度是否與所需的設(shè)定點溫度相同。因此，為確保 SU-8 光刻膠的受控烘烤，請優(yōu)先使用實時顯示測量溫度的熱板。我們注意到一些光刻熱板有一個隨時間漂移的溫度傳感器。由于這種溫度漂移會降低過程的再現(xiàn)性，因此請檢查熱板的傳感器技術(shù)。如果您不確定熱板的溫度隨時間漂移，理想情況下，每月定期對熱板的實際表面溫度進行紅外檢查將確保您的 SU-8 光刻工藝可重現(xiàn)。

光刻熱板的過沖和穩(wěn)定時間

當(dāng)您設(shè)置新溫度并根據(jù)調(diào)節(jié)模式（PID 值）時，加熱板的溫度在穩(wěn)定之前可能會超過設(shè)定點。這種超調(diào)取決于熱板溫度和設(shè)定點之間的差距。這種超調(diào)可以達(dá)到幾度，并強烈降低您的某些 SU-8 過程。購買前詢問熱板的溫度過沖。如果您無法獲得該信息，我們建議您使用簡單的高溫計測量通常設(shè)定點的過沖（并檢查穩(wěn)定時間）。即使在購買之前通常很難知道熱板的實際穩(wěn)定時間和溫度超調(diào)，但這些參數(shù)對于擁有良好且可重復(fù)的 SU-8 光刻工藝仍然很重要。

整個光刻熱板的溫度均勻性

熱板的溫度在整個板上保持相同的情況很少見。中心通常處于設(shè)定點溫度，當(dāng)走到幾度的邊緣時溫度會降低。您需要知道或測量這種非同質(zhì)性，以確保有足夠的同質(zhì)寬空間來放置您的晶圓。在這里，即使在購買之前通常很難知道熱板的真正均勻性，這些參數(shù)對于擁有良好且可重復(fù)的 SU-8 光刻工藝仍然很重要。如果您在購買之前無法確定熱板的溫度均勻性，我們建議您在收到熱板時使用高溫計或紅外攝像機檢查熱板的溫度均勻性。

陶瓷板可以在高溫 (>450°C) 下加熱。它確實能耐受多種溶劑和化學(xué)產(chǎn)品，而且：易于清潔。但由于其導(dǎo)熱性很弱，整個表面的溫度不會真正均勻。鋁板不能像陶瓷一樣在高溫下加熱，并且對溶劑和化學(xué)產(chǎn)品（例如 NaOH）的耐受性較差。相比之下，由于其高導(dǎo)熱性，整個板表面的溫度比陶瓷板更均勻。對于SU-8光刻膠加工，必須優(yōu)先考慮均勻性，因此鋁板似乎是最好的選擇。我們易于使用的解決方案：入門包！

帶自動定時器的光刻熱板

烘烤步驟必須在精確的時間內(nèi)完成；在不使用外部計時器的情況下讓內(nèi)部計時器在每個步驟結(jié)束時警告用戶的可能性幾乎沒有實際優(yōu)勢。一些設(shè)備提供了在預(yù)設(shè)時間結(jié)束時自動停止加熱的可能性。我們經(jīng)常推薦這種選項，因為它可以避免例如在并行處理多個晶圓時出現(xiàn)疏忽錯誤。此外，它允許研究人員不依賴于步驟的時間，并且在 SU-8 模具烘烤期間不必靠近熱板。

可以為溫和的 SU-8 烘烤進行升溫

在 SU-8 光刻工藝中，稍微增加和/或降低溫度的可能性很重要。事實上，SU-8 光刻膠在烘烤過程中變得非常緊密。要降低 SU-8 薄膜上的機械應(yīng)力，需要稍微降低和升高溫度。通過升高或降低溫度，可以“手動”定期改變熱板設(shè)定點。但是，此解決方案確實受到限制且不可重現(xiàn)。一些光刻熱板提供以不同的速率加熱和冷卻。通常對于降低，只能通過自然冷卻來減緩，因為能夠有效地降低溫度強加于有氮氣線，控制更復(fù)雜。微流體應(yīng)用。

程序光刻步驟

SU-8 微流控模具的烘烤過程通常有多個步驟，每個步驟在不同溫度下處于不同階段。能夠保存這些溫度步驟甚至不同的斜坡將使您的生活更簡單，并讓您獲得可重現(xiàn)的高質(zhì)量光刻工藝。

光刻熱板的溫度增量大小和精度

通常，根據(jù)設(shè)備的不同，增量為 5°C 或 1°C。請注意，溫度精度直接取決于此。烘烤您的 SU-8 光刻膠強烈希望增加 1°C。幾乎所有的光刻熱板都提供 1°C 的溫度精度，因此購買熱板時應(yīng)該沒有問題。

安全和用戶保護

當(dāng)板超過特定溫度（通常為 50 °C）時，大多數(shù)設(shè)備都會發(fā)出警告燈。此選項提醒其他用戶設(shè)備存在危險。不過，請注意，此燈隨設(shè)備一起關(guān)閉，因此請檢查放置警告象形圖并讓其他用戶意識到危險。我們不堅持這一點，因為它不考慮您最終微流體模具的質(zhì)量。

光刻熱板尺寸

光刻熱板有不同的種類和尺寸，選擇一種最適合您的需求。太大的盤子在降溫過程中會產(chǎn)生很大的慣性。為確保良好的 SU-8 光刻工藝，選擇一塊比硅晶片大一點的板進行加熱，以避免邊緣效應(yīng)導(dǎo)致邊緣溫度低于中心溫度。對于英寸晶圓（直徑 10 厘米），您可以使用 18 x 18 厘米的光刻熱板。